出版日期：2001-09-01 00:00:00

著者：楊龍杰

單位：淡江大學機械與機電工程學系

出版者：時報文化出版企業公司

著錄名稱、卷期、頁數：初版

摘要：1.本書累積近年來台灣本土化微機電技術之發展經驗，詳述矽質微細加工技術，與微型感測器之設計製作工藝，連帶提及最新微機電產品趨勢與策略建議。 2.本書與一般科技譯作最大的差異，在於專心介紹具台灣本土發展可行性的微機電技術，故對國內有意從事微機電研發的人士，富實用之效。 3.書中部分討論較深入的課題，係直接採自學術期刊或會議論文集，則可供研究生進一步思索、延伸。

語言：zh_TW

ISBN：957207931X