Surface and sub-surface characteristics of metal-bond / ELID and resin-bond diamond ground single crystal silicon
出版日期：2003-01-01 00:00:00
著者：Chao, C. L.; Ma, K. J.; Chien, H. H.; Lin, H. Y.
單位：淡江大學機械與機電工程學系
出版者：Tokyo, Japan: Universal Academy Press
著錄名稱、卷期、頁數：International progress on advanced optics and sensor, pp.155-162
語言：en
ISBN：4946443762