出版日期：2003-07-01 00:00:00

著者：康尚文; 楊鍚杭; 林哲平

單位：淡江大學機械與機電工程學系

出版者：新竹市：行政院國家科學委員會精密儀器發展中心

著錄名稱、卷期、頁數：微機電系統技術與應用 = Micro electro mechanical systems technology & application，頁417-466

語言：zh_TW

ISBN：9570142650